Алиб.ру - Главная
|
Последние поступления
|
Форум
|
Продавцы книг
|
Как купить книгу
|
Как продать книги
|
Ищу книгу
|
Доставка
|
О сайте
|
|
|
Все книги в продаже (3185686) Загрузка книг проводится ежедневно в 9 и 23ч. |
Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники.
В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании МО CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: Металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики). Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники. //Тираж 330 экз.
| № | Продавец, Описание, Состояние, (Фото) | Купить по цене |
|---|---|---|
| 1 | BS-exchange_books Новосибирск. Новосибирск Изд-во СО РАН 2013г. 176с. Переплет, Увеличенный формат. Состояние: отличное |
Купить за 500 руб. |
| 2 | BS-kniga_nsk Новосибирск. Новосибирск. РАН Сиб. отделение. 2013г. 176с. Твердый переплет, Энциклопедический формат. Состояние: Очень хорошее. |
Купить за 510 руб. |
| ^ Наверх! |
Лучшие продавцы >>>
|
КАРТА сайта · Алиб.ру - Главная · Авторам и правообладателям · Указатель серий · Alib в Українi · Пластинки · Марки · Добавить в Избранное
Copyright © 1999 - 2026,
Ведущий и K°. Все права защищены.
Вопросы, предложения пишите в книгу
|
|
| | 0 c | |